Вертикальная печь с псевдоожиженным слоем

Вертикальная печь с псевдоожиженным слоем оснащена цилиндрической камерой, окружающей кварцевую трубку; в нижней средней части центрального участка установлен встроенный пористый фильтр-фритта с порами 15–40 мкм, наружным диаметром 22 мм и толщиной 4 мм. Восходящая газовая струя равномерно распределяется по сечению камеры и удерживает твёрдые частицы во взвешенном состоянии, обеспечивая теплообмен и нанесение покрытия на каждую из них; после снятия крышки обработанный материал выгружается через верх. Для материалов, обрабатываемых при повышенном давлении, предусмотрена жаростойкая трубка из нержавеющей стали с максимальной рабочей температурой 800 °C и максимальным давлением 3 бар; встроенный клапан избыточного давления автоматически возвращается в рабочее состояние и допускает повторное использование, а комплект включает одну кварцевую трубку с нижней фриттой и расширением для размещения сырья, где наружный и внутренний диаметры на концах равны 25 и 22 мм, а в расширенной части — 50 и 44 мм. Давление и расход потока регулируются с учётом размера частиц, поскольку чрезмерная скорость может вывести твёрдую фазу за пределы рабочего объёма. Стальной двухслойный корпус охлаждается воздухом, имеет разъёмную дверцу для установки и высокочистую волокнистую теплоизоляцию; максимальная температура печи составляет 1100 °C, непрерывная — 1000 °C, а скорость нагрева не превышает 20 °C/мин. Длина рабочей области равна 200 мм при одной зоне, стабильный участок имеет длину 60 мм с отклонением ±2 °C; регулятор поддерживает 30 программируемых сегментов для задания скорости нагрева, охлаждения и времени выдержки, автоматическую настройку, защиту от перегрева и обрыва термопары, сигнализацию превышения установленного предела для работы без постоянного присутствия оператора, а точность регулирования составляет ±1 °C. Дополнительный высокоточный контроллер обеспечивает точность ±0,1 °C. Нижний фланец размером 25,4 мм оснащён фитингом 6,35 мм для подачи первичного газа, верхний фланец такого же размера имеет вход вторичного газа и выпуск; также доступны система смешения газов, датчик кислорода, ультразвуковой распылитель субмикронных капель в нагретую область и питатель для непрерывной работы. Масса печи составляет около 20 кг без мобильной тележки.

Наименование производителя

2025 Hot Sale Fluidized Bed CVD (FBCVD) Furnace with 1" O.D Quartz Tube and Flange for Powder CVD - OTF1200XSFB