Круглая магнетронная распылительная головка для мишени диаметром 76,2 мм

Name: Круглая магнетронная распылительная головка для мишени диаметром 76,2 мм
SKU: 528-505

Магнетронная распылительная головка изготовлена из нержавеющей стали и керамики. Ее диаметр составляет 50,8 мм, а кольцевые постоянные магниты установлены на головке для повышения эффективности и равномерности распылительного покрытия. Конструкция магнита рассчитана методом поэлементного расчета электромагнитного поля для получения повышенной напряженности и равномерного распределения магнитного поля. Открытое размещение магнита предотвращает его коррозию под воздействием охлаждающей воды и продлевает срок службы. Стандартный разъем HN совместим с источниками питания постоянного и радиочастотного типов. Стандартное вакуумное соединение упрощает установку. Мишень можно заменить без регулировки высоты головки. Максимальная требуемая мощность при постоянном токе составляет 1000 Вт, при радиочастотном питании — 500 Вт. Максимальный ток распыления равен 3 А, напряжение распыления составляет 100–1000 В, а вакуум в камере при распылении — 5–100 мТорр. Предельная толщина мишени для немагнитных материалов составляет 3,175 мм, для магнитных — 1,5875 мм. Коэффициент использования мишени равен 30 %. Магнитный материал представляет собой редкоземельную магнитную пластину. Расход охлаждающей воды составляет 3,03 л/мин, наружный диаметр водяной трубы — 6,35 мм. Дополнительно доступен циркуляционный охладитель с расходом 16 л/мин и объемом бака 6 л.

Наименование производителя

3 Inch Circular Magnetic Target Magnetron Sputtering Gun for DC & RF Sputtering, 2" High Vacuum Magnetron Sputtering Target Heads | Permanent Magnet & Customizable

Задать вопрос Искать на Baidu

Какую задачу решает магнетронная распылительная головка

Магнетронная распылительная головка используется для нанесения распылительных покрытий на металлические, изоляционные, магнитные и немагнитные мишени.

Нанесение покрытий

Характеристики БЯТ-89(2А)

Модель (по базе 91Т)БЯТ-89(2А)

Материалмагнетронная распылительная пушка, магнетронная распылительная мишень

Размер25,4 мм / 50,8 мм / 76,2 мм / 152,4 мм

Магнетронная распылительная головка - гибкость поставки.
Мы осознаём, что у каждого проекта свои особенности. В связи с этим мы можем обсудить изменение технических характеристик, типоразмеров и комплектации БЯТ-89(2А) под условия эксплуатации (на мощностях оригинального производителя или нашего завода в России).

Дата последней проверки актуальности данных: 08.10.26

Данные о производителе и характеристиках проверены.