Плазменный очиститель объёмом 3 л

Name: Плазменный очиститель объёмом 3 л
SKU: 513-335

Кварцевая плазменная камера имеет диаметр 152,4 мм и длину 165,1 мм; дверца на петлях оснащена смотровым окном для загрузки образцов и наблюдения за процессом. Обрабатываемый образец может иметь размер до 101,6 мм. Для очистки можно выбирать плазму воздуха, кислорода, аргона, азота или смешанного газа; применение горючего газа не допускается. Скорость удаления органических загрязнений составляет около 20 нм/мин при высокой РЧ-мощности. РЧ-мощность регулируется на трёх уровнях: 7,2 Вт, 10,2 Вт и 30 Вт; рабочая частота составляет 13,56 МГц. Панель управления обеспечивает настройку времени очистки, РЧ-мощности и вакуумного насоса. В комплект входит двухступенчатый роторно-пластинчатый вакуумный насос с фильтром выхлопа и вакуумной трубкой. Входное питание — переменный ток 220 В, 50/60 Гц; для работы от 110 В может применяться трансформатор. Мощность вакуумного насоса составляет менее 500 Вт, суммарная мощность — менее 600 Вт. Габариты установки — 400 × 300 × 300 мм.

Наименование производителя

3 L Plasma Cleaner with Vacuum Pump & Digital Controller, 6"Dx6.5"L Quartz Chamber - PCE6

Задать вопрос Искать на Baidu

Какую задачу решает плазменный очиститель

Плазменный очиститель применяют для предварительной очистки монокристаллических подложек перед осаждением эпитаксиальных плёнок, а также для обработки подложек и пластин плазмой.

Очистка поверхностей

Характеристики ХМА-75(4У)

Модель (по базе 91Т)ХМА-75(4У)

Материалплазменный очиститель 3 л

ПриводРЧ-мощность: не более 30 Вт

Размер400 мм (длина) × 300 мм (ширина) × 300 мм (высота)

Типплазменный очиститель

Плазменный очиститель - гибкость поставки.
Каждый проект имеет свои особенности, и мы это учитываем. Именно поэтому по запросу мы уточним у производителя, возможна ли корректировка технических характеристик, типоразмеров и комплектации ХМА-75(4У) под условия применения (руками первого изготовителя или собственного производства в России).

Дата последней сверки данных: 06.10.26

Производитель и характеристики проверены.