Установка для нанесения покрытий вращением и распылением с четырьмя соплами

Установка совмещает вращательное и распылительное нанесение для формирования плотного равномерного жидкофазного покрытия на крупной подложке. Вакуумный держатель имеет регулируемые фиксаторы для плоских подложек диаметром до 304,8 мм или квадратных подложек размером до 203,2 мм. Безмасляный вакуумный насос для держателя входит в комплект и управляется установкой. Скорость вращения регулируется от 300 до 3000 об/мин; для подложек размером более 203,2 мм рекомендуется ограничить скорость 2000 об/мин. Доступны распылительные головки трех типов: с подачей сжатого газа, ультразвуковые с частотой 40 кГц и ультразвуковые с частотой 120 кГц. Более высокая частота обеспечивает более мелкое распыление и более тонкое покрытие, но увеличивает стоимость. Четыре перистальтических насоса подают растворы с программируемым расходом 0,05–380 мл/мин. Растворы можно вводить во время вращения последовательно, задавая расход и длительность; клапаны, подключенные к каждому насосу, допускают подачу только одного раствора для предотвращения перекрестного загрязнения. Сенсорная панель управления задает программу, последовательность и время впрыска, а также число циклов. Опциональная нагревательная крышка использует кольцевую галогенную лампу. Цифровой контроллер имеет точность ±1 °C, максимальная рабочая температура составляет 100 °C. Требуется питание 208–240 В переменного тока, 50/60 Гц, суммарная мощность — 3000 Вт.

Наименование производителя

4-Nozzle Spin-Spray Coater for 12" Wafers with Optional Spray Heads - VTC-300SS-4