Комбинированная трубчатая печная система

Комбинированная трубчатая печная система оснащена двумя зонами нагрева и предварительным нагревателем. Максимальная рабочая температура трубчатой печи и предварительного нагревателя составляет 1100 °C. Зоны нагрева имеют длину по 200 мм, общая длина нагрева составляет 400 мм; при одинаковой температуре в обеих зонах центральный участок постоянной температуры имеет длину 250 мм, а максимальный перепад между зонами достигает 500 °C. Два программируемых цифровых регулятора поддерживают 30 сегментов. Автоматический генератор паров жидкости подключён к клапанам, а два клапана оснащены контроллерами импульса длительностью от 10 мс. Управление подачей пара и плазменной обработкой выполняется программируемым логическим контроллером через сенсорную панель размером 152,4 мм. Предварительный нагреватель пропускает пар перед плазменным генератором и допускает испарение твёрдых материалов для их смешивания с паровой фазой. Радиочастотный источник плазмы обеспечивает регулируемую выходную мощность 5–500 Вт со стабильностью ±1 %, частоту 13,56 МГц со стабильностью ±0,005 %, автоматическое согласование и воздушное охлаждение; максимальная отражённая мощность составляет 200 Вт. Система рассчитана на однофазное переменное питание 208–240 В при максимальной входной мощности 4 кВт. Кварцевая труба имеет наружный диаметр 50 мм, внутренний диаметр 44 мм и длину 2200 мм. Коррозионностойкий манометр работает в диапазоне от 3,8 × 10⁻⁵ до 1125 торр и не зависит от типа газа. Безмасляный сухой вакуумный насос имеет производительность 226 л/мин и предельное давление 10⁻³ торр; внутри рабочей трубы достигается вакуум 10⁻² торр. Скользящий механизм перемещает печь со скоростью 0–70 мм/с для ускоренного нагрева и охлаждения. Габариты печи составляют 550 × 380 × 520 мм, длина двойной направляющей — 1750 мм.

Наименование производителя

ALD & PECVD Combination Tube Furnace System - OTF-1200X-ALD