Автоматизированная ультразвуковая установка для центробежно-распылительного нанесения покрытий

Установка объединяет ультразвуковую атомизацию, центробежное нанесение покрытия и сушку плёнки на подложке размером до 300 мм. Подача рабочего состава выполняется прецизионным шприцевым насосом, для неё предусмотрена дополнительная функция нагрева; распылительная головка перемещается над образцом, обеспечивая равномерное нанесение, а число распылительных станций достигает четырёх. После обработки плёнка быстро высушивается инфракрасной лампой радиационного типа с номиналом 2 кВт; номинал атомизатора составляет 200 Вт. Вакуумный насос служит для захвата и фиксации образцов, тогда как компрессор улучшает ориентацию струи и уменьшает разбрызгивание; компрессор не входит в стандартную комплектацию. Инъекционный узел допускает одно- или многоканальную конфигурацию, вытяжное устройство удаляет из камеры пары и запахи рабочего состава, а газовые фильтры могут очищать токсичные и вредные газы. Инфракрасный механизм выравнивания определяет стартовую позицию факела; светодиодная подсветка освещает внутреннее пространство, а подвижная термопара измеряет температуру в разных точках. Держатель оснащён полипропиленовой вакуумной присоской Ø 203 мм и рассчитан на подложку Ø 305 мм; шпиндель вращается в одном направлении, против часовой стрелки, при числе оборотов 100–3000 об/мин и стабильности ±2 %. Поворотный рычаг отклоняется на 0–60° с темпом 1–20°/с, цилиндрический наконечник формирует факел примерно Ø 20 мм, а грибовидный наконечник — более широкий факел примерно Ø 40 мм. Частота форсунки составляет 40 кГц ±10 %, уровень амплитуды регулируется ступенями 1, 2 и 3, размер частиц равен 10–20 мкм, расход находится в пределах 0,6 пЛ–4 мл/мин. Вязкость рабочей среды не превышает 100 сП, рабочий диапазон вязкости составляет 1–50 мПа·с, содержание твёрдых веществ не превышает 10 %, а для водного раствора рекомендуется сжатый воздух примерно 0,138 бар. Управление выполняется ПЛК, сенсорным экраном и ручкой бесступенчатой регулировки; выпускное отверстие диаметром 100 мм допускает подключение внешнего фильтрующего бокса для других газов. Суммарная мощность основного блока составляет 2,5 кВт, сетевые параметры порта питания — 50 Гц и 16 А, причём фактический источник определяется маркировкой на задней панели изделия. Инъекционная система имеет габариты 250 × 225 × 170 мм, скорость впрыска 0,1–45 мм/мин, скорость тонкой настройки 0,01–8 мм/мин, диаметр шприца 0,04–30 мм, стандартный объём иглы 20 мл и диапазон хода 0,001–120 мм. Независимое питание подаётся через адаптер с входной частотой 50/60 Гц и выходным током 3,75 А; параметры задаются отдельно, а запуск выполняется совместно с основным блоком, при этом мощность дозирующего узла не превышает 50 Вт.

Наименование производителя

Automated Ultrasonic Spin Spray Coater for 12 Inch Wafer with 3000 RPM Speed, Heater and Fume Hood - VTC-300BUSS