Компактная установка магнетронного распыления

Установка магнетронного распыления выполнена с одной плазменной распылительной головкой и водоохлаждаемыми кожухами. Для охлаждения требуется цифровой рециркуляционный охладитель воды с расходом 16 л/мин; в комплект входит радиочастотный кабель длиной 148 см. Максимальная мишень имеет диаметр 50,8 мм и толщину 6,35 мм; медная мишень размером 50,8 × 3 мм предназначена для демонстрации. Рабочая камера из высокочистого кварца имеет наружный диаметр 160 мм, внутренний диаметр 150 мм и высоту 250 мм. Уплотнительный фланец диаметром 165 мм изготовлен из алюминия и оснащён высокотемпературным силиконовым уплотнительным кольцом. Для экранирования предусмотрена крышка из нержавеющей сетки. Вакуум достигает 1,0E-2 Торр с двухступенчатым механическим насосом и 1,0E-5 Торр с турбонасосом. В держателе образца предусмотрены вращение и нагрев; керамическая конструкция имеет крышку из нержавеющей стали, размер образца до 50 мм, скорость вращения регулируется от 1 до 10 об/мин, нагрев — до 500 °C. Встроенный вакуумный порт рассчитан на подключение насоса с адаптером. Подача аргона выполняется через игольчатый клапан; требуется баллон с регулятором давления. Панель управления с цветным сенсорным экраном диагональю 152,4 мм интегрирована с ПЛК и контролирует вакуум, ток и параметры. Опционально доступны монитор толщины плёнки и расходомер газа. Габариты установки — 360 × 300 × 615 мм, масса нетто — 70 кг.

Наименование производителя

Compact 2" Magnetron Sputtering Coater with Selectable DC/RF Power Source-Glovebox-Compatible Thin Film Deposition System