Установка термического испарительного нанесения покрытий

Установка оснащена четырьмя источниками нагрева; камера рассчитана на работу в высоком вакууме до 10⁻⁶ торр. Рабочая камера выполнена из нержавеющей стали, электрополирована, имеет внутренний диаметр 300 мм, высоту 360 мм и смотровое окно диаметром 100 мм. Откидная передняя дверца предназначена для загрузки образцов. Для каждого источника предусмотрена моторизованная заслонка. В установке предусмотрены порт для подключения турбомолекулярного насоса и вакуумного клапана, порт для вакуумметра, а также шесть портов для необходимого оборудования, включая кварцевый монитор толщины плёнки. Испарительные источники оснащены вольфрамовыми нагревательными лодочками с водоохлаждаемыми экранами; размер лодочки составляет 70 × 12 × 3 мм. Поворотный держатель образцов имеет диаметр 120 мм, а расстояние от источника до держателя составляет 140–200 мм. Нагреваемый столик образцов с температурой до 500 °C доступен опционально. Для измерения толщины предусмотрен опциональный кварцевый микровес с точностью контроля 1,0 ангстрема. Управление вакуумом, толщиной и мощностью встроено в один блок управления. Для охлаждения используется вода с давлением 0,2–0,4 МПа и температурой 15–25 °C.

Наименование производителя

Four Source High Vacuum Thermal Evaporation Coater - GSL-1800X-ZF4