Лабораторная центрифужная установка для нанесения тонких плёнок с УФ-крышкой, до 10 000 об/мин, для пластин 127 мм

Лабораторная установка выполняет центрифужное нанесение тонких плёнок. Образец фиксируется вакуумной адсорбцией. В верхней крышке предусмотрено центральное инжекционное отверстие с резиновой пробкой; его используют при необходимости герметичной рабочей камеры. Газовый вход камеры предназначен для подключения защитного газа. Части, отвечающие за вращение и управление УФ-источником, имеют независимое управление. Регулирование двигателя выполняется одноплатным компьютером с ЖК-дисплеем, обеспечивающим наглядное отображение числовых значений. Программа включает одну группу с двумя последовательными этапами: для каждого этапа отдельно задаются время и скорость, а время каждого этапа может составлять от 0 до 60 с. Такая последовательность обеспечивает постепенное распределение материала и более равномерное покрытие. Установка быстро запускается; стабильное вращение поддерживает однородность и воспроизводимость толщины плёнки. В монтажной конструкции предусмотрено демпфирование для снижения шума. Камера изготовлена из полипропилена, устойчивого к химической коррозии и растрескиванию под напряжением, а корпус выполнен из литого алюминия. Мощность двигателя составляет 350 Вт при 24 В. Питание — 110 В, 50/60 Гц. Доступны держатели диаметром 19 и 60 мм, отверстия для защитного газа и вакуума имеют диаметр 8 мм. Мощность УФ-лампы регулируется в диапазоне 8–30 Вт, время её работы задаётся от 1 до 800 с.

Наименование производителя

High-Speed Laboratory Spin Coater 10,000 RPM with UV Cover, 5-Inch Wafer Thin Film Coating Machine