Четырёхсопловая центробежно-распылительная установка для нанесения покрытий на подложки диаметром до 304,8 мм

Установка формирует плотное и равномерное жидкофазное покрытие. Многослойный процесс настраивается через сенсорную панель. Предусмотрены три варианта распылительных головок: с подачей газа под давлением, ультразвуковая головка 40 кГц и ультразвуковая головка 120 кГц. Более высокая частота обеспечивает более мелкое распыление и более тонкое покрытие, но требует больших затрат. Вакуумный держатель с регулируемыми фиксаторами удерживает плоскую подложку; безмасляный насос входит в комплект и управляется установкой. Скорость вращения регулируется от 300 до 3000 об/мин. Для пластин размером свыше 203,2 мм рекомендуется ограничить скорость до 2000 об/мин. Перистальтические насосы подают четыре типа раствора с программируемым расходом 0,05–380 мл/мин. Растворы вводятся поочередно с настройкой расхода и времени подачи, а электромагнитные клапаны допускают подачу только одного раствора для предотвращения перекрестного загрязнения. Опциональная нагреваемая верхняя крышка оснащается кольцевым галогенным нагревателем и цифровым регулятором с точностью ±1 °C; максимальная рабочая температура составляет 100 °C. Панель управления задает порядок подачи растворов, время работы каждого насоса и число циклов.

Наименование производителя

Laboratories Equipment Four Nozzles Spin-Spray Coater (300-3000 Rpm, 12" Wafer) W/ Optional Spraying Heads - VTC-300SS-4, Laboratory Four Nozzles Spin-Spray Coater 300 to 3000 Rpm for 12" Wafer with Optional Spraying Heads VTC-300SS-4, Laboratories Equipment VTC-300SS-3 Spin Spray Coater | 3 Nozzles, 10-3000 RPM, 8" Wafer | for Thin Film/Lab Coating