Компактная гибридная установка для выращивания кристаллов с контролем атмосферы

Компактная установка оснащена вертикальной трубчатой печью с двумя зонами нагрева и разъемной дверцей для монтажа трубы. Рабочая камера выполнена с кварцевой трубой наружным диаметром 50 мм, внутренним диаметром 44 мм и длиной 600 мм; фланцевое соединение имеет вакуумное уплотнение и механизм вращения и вытягивания. Верхний фланец снабжен водяным охлаждением, игольчатым клапаном и портом для механизма, нижний — игольчатым клапаном и портом подключения вакуумного насоса. Для циркуляции или подачи газа предусмотрены два трубных фитинга размером 6,35 мм. Длина каждой зоны нагрева составляет 100 мм. Управление температурой обеспечивает точность ±0,1 °C и программирование 28 сегментов с независимой настройкой зон; используются две термопары типа K. Механизм перемещения приводится прецизионным сервомотором. Скорость вытягивания составляет 0,5–50 мм/ч, скорость вращения тягового стержня — 0,1–23 об/мин, ход — 0–300 мм, ускоренное перемещение — 35 мм/мин. В комплект входят алюмооксидная труба длиной 300 мм для опоры тигля, тяговый стержень из инструментальной стали для затравочных кристаллов при температуре до 800 °C и алюмооксидный тигель размером 25 × 20 × 25 мм. Диаметр затравочного кристалла составляет 0,5–3,2 мм. Для работы с кварцевыми трубами предусмотрены два держателя из нержавеющей стали размерами 20 × 16 × 150 мм и 15 × 11 × 150 мм; при температуре выше 800 °C держатель может окисляться. Летучие образцы герметично запаивают в кварцевой трубе. Опционально доступны двухступенчатый механический вакуумный насос с разрежением 10⁻² торр, турбонасос с разрежением 10⁻⁵ торр и рециркуляционная система очистки газа для материалов, чувствительных к кислороду.

Наименование производителя

MGSI 1100 °C Max. Hybrid Compact Crystal Grower for Both CZ & Bridgman W/ Atmosphere Control - OTF-1200X-SCB, MGSI Czochralski Crystal Growth System Tube Furnace up to 2100C 208-220V-SKJ-50CZ