Система выращивания кристаллов с максимальной рабочей температурой 1700 °C

Система оснащена многоотверстным графитовым тиглем с теплоизоляционным слоем из высокочистого углеродного войлока и высокочистой кварцевой трубой с наружным диаметром 127 мм. Тигель имеет наружный диаметр 60 мм, высоту 80 мм и до 32 отверстий диаметром 8 мм; в его нижней части предусмотрено малое отверстие для размещения затравки монокристалла. Индукционный нагрев работает от источника мощностью 25 кВт при трехфазном переменном напряжении 220 В. Механизм перемещения катушки управляется сервомотором и обеспечивает скорость 0–200 мм/мин в быстром режиме и 1–50 мм/ч в медленном режиме; максимальный ход механизма составляет 150 мм. Частота нагрева регулируется в диапазоне 30–80 кГц, а цифровое управление температурой обеспечивает точность ±0,5 °C и программирование по 24 сегментам. Система имеет управление с сенсорным экраном; настраиваются положение катушки и тигля, скорость перемещения, мощность индукции в процентах и температура. Предусмотрен контроль вакуума или атмосферы. Верхний фланец из нержавеющей стали оснащен вакуумным соединительным портом KF 25, механическим манометром и клапаном сброса избыточного давления. Нижний фланец имеет газовый порт и проходной ввод 6,35 мм для термопары. На дне тигля размещена термопара для контроля температуры. Охладитель поддерживает диапазон 5–30 °C, расход воды составляет 16 л/мин, а бак объемом 12 л выполнен из нержавеющей стали.

Наименование производителя

MGSI High Throughput Crystal Growth System by Zone Melting up to 1700C - SKJ1600HT