Вакуумная установка для нанесения тонких пленок центрифугированием

Образец фиксируется вакуумной адсорбцией, что упрощает его установку и извлечение. Степень разрежения достигает −0,08 МПа. Держатели сменные и подбираются по размеру образца; в стандартный комплект входят два вакуумных держателя типоразмеров 50,8 и 101,6 мм с уплотнительными кольцами. Двигатель быстро и стабильно запускается, а после разгона установка работает устойчиво, с малым уровнем шума и низкой вибрацией, обеспечивая однородность толщины покрытия. Камера изготовлена из полипропилена, устойчивого к химической коррозии и растрескиванию под напряжением, корпус выполнен из литого алюминия. Предусмотрены контроль вакуума, обнаружение открытой крышки, защитная блокировка и автоматическое замедление до остановки при открывании крышки во время нанесения или после его завершения. Интерфейс управления переключается между китайским и английским языками, а сенсорный экран диагональю 177,8 мм отображает числовые данные. Электрическое подключение рассчитано на 24 В через адаптер 24 В/15 А; мощность двигателя составляет 300 Вт, частота электросети — 50 Гц, требуется надежное заземление. Скорость задается в диапазоне 1500–20000 об/мин с шагом 100 об/мин. Программа включает 16 рабочих этапов, ускорение и замедление регулируются в диапазоне 100–6000 об/мин/с. Временные интервалы составляют 1–99 с при скорости 1500–10000 об/мин и 1–60 с при скорости свыше 10000 до 20000 об/мин. Эксплуатация рассчитана на высоту до 1000 м, температуру 25 °C ± 15 °C и относительную влажность 55 % ± 10 %. Предусмотрены подвод и отвод воды, вентиляция; газ не требуется. Рабочий стол должен иметь размеры 600 × 600 × 700 мм и выдерживать нагрузку более 50 кг. Габариты установки составляют 250 × 340 × 320 мм, масса — 12 кг. В комплект также входят эпоксидный шприц 20 мл и безмасляный вакуумный насос с параллельными штангами. Дополнительно доступны держатели других типоразмеров, а также китайские и импортные пипетки.

Наименование производителя

Precision Spin Coating Machine for Semiconductor Research | High-Speed Wafer Thin Film Coater for Laboratory