Лабораторная установка для центробежно-туманного нанесения покрытий с тремя соплами, 10–3000 об/мин

Установка обеспечивает плотное и равномерное жидкофазное нанесение покрытия на крупную подложку в многослойном процессе. Распылительные головки с приводом от сжатого газа имеют регулируемое давление до 0,2 МПа и диаметр 40 мм. Вакуумный патрон с регулируемыми держателями фиксирует плоские подложки диаметром до 304,8 мм или квадратные подложки со стороной до 203,2 мм. Для вакуумного патрона предусмотрен безмасляный насос, управляемый установкой. Три перистальтических насоса подают три типа растворов. Растворы вводятся поочередно во время вращения с заданными расходом и длительностью; электромагнитные клапаны на каждом насосе допускают подачу только одного раствора, предотвращая перекрестное загрязнение. Скорость насосов составляет 0,1–100 об/мин, расход — примерно 0,14–140 мл/мин. Сенсорная панель управления задает последовательность подачи раствора, длительность каждой подачи и количество циклов. Дополнительная верхняя нагреваемая крышка доступна по запросу. Нагревательный элемент выполнен в виде кольцевой галогенной лампы, а цифровой регулятор обеспечивает точность ±1 °C при максимальной рабочей температуре 100 °C. Питание: переменный ток 110/220 В, 50/60 Гц. Габариты установки составляют 600 × 740 × 500 мм, габариты контроллера — 510 × 460 × 200 мм. Масса установки — 61,235 кг.

Наименование производителя

Three Nozzles Spin-Mist Spray Coater (10-3000 Rpm, 8" Wafer) - VTC-300SS-3, Lab Three Nozzles Spin-Mist Spray Coater (10-3000 Rpm, 8" Wafer) with 3 Peristaltic Pumps for Multi-Layer Coating- VTC-300SS-3