Установка центрифужного распыления с тремя соплами

Вакуумный патрон с регулируемыми держателями рассчитан на круглые подложки диаметром до 304,8 мм или квадратные подложки размером до 203,2 мм. В комплект входит один безмасляный вакуумный насос, управляемый установкой. Сопла с приводом от сжатого газа имеют размер 40 мм, давление газа регулируется до 0,2 МПа. Система подачи жидкости включает три перистальтических насоса, которые поочерёдно подают растворы с заданными расходом и продолжительностью. Электромагнитные клапаны, подключённые к каждому насосу, допускают подачу только одного раствора за раз. Скорость насосов составляет 0,1–100 об/мин, ориентировочный расход — 0,14–140 мл/мин. Сенсорная панель позволяет задавать последовательность насосов 1–3, время подачи для каждого насоса и количество циклов. Скорость вращения регулируется в диапазоне 10–3000 об/мин; для подложек крупнее 203,2 мм рекомендуется скорость не более 2000 об/мин. Опциональная нагревательная крышка с кольцевой галогенной лампой оснащается цифровым контроллером с точностью ±1 °C и рассчитана на максимальную рабочую температуру 100 °C. Габариты установки составляют 600 × 740 × 500 мм, габариты контроллера — 510 × 460 × 200 мм, масса нетто — 61,235 кг. Требуется питание переменным током 110/220 В, 50/60 Гц.

Наименование производителя

Three Nozzles Spin-Mist Spray Coater for 8" Wafers, 10-3000 RPM - Precision Thin Film Coating VTC-300SS-3