Вакуумная установка для центрифужного нанесения покрытий со скоростью до 8000 об/мин для пластин 101,6 мм

Вакуумная установка для центрифужного нанесения покрытий закрепляет образец на рабочей пластине методом вакуумной адсорбции. В стандартной комплектации предусмотрены три вакуумных держателя различных размеров; для образца выбирается держатель подходящего размера. Конструкция выполнена из литого алюминия, обеспечивает стабильную работу и низкий уровень шума. Питание двигателя и контроллера организовано раздельно. Регулирование скорости выполняется однокристальным компьютером с высокой помехоустойчивостью; предусмотрены светодиодный цифровой дисплей и обратный отсчёт времени нанесения. В комплект входят держатели из полипропилена диаметром 25, 50 и 100 мм, шприц и безмасляный вакуумный насос параллельного типа. Диаметр рабочей пластины составляет 100 мм, вращение происходит против часовой стрелки. Мощность установки — 600 Вт, масса — 20 кг, габариты — 260 × 380 × 330 мм. Для работы требуется вентиляция, подача воды с входом и выходом, электросеть 50 Гц с надёжным заземлением и рабочий стол 600 × 600 × 700 мм с нагрузкой более 50 кг. Рабочая температура окружающей среды составляет 5–40 °C, относительная влажность — не более 85 %RH; рядом не должны присутствовать источники сильной вибрации и коррозионные газы. Условия установки предусматривают высоту до 1000 м, температуру 25 ± 15 °C и влажность 55 %RH ± 10 %RH.

Наименование производителя

VTC-100 8000 RPM Vacuum Spin Coater for 4 Inch Wafer Laboratory Thin Film Coating Equipment