Встроенная в перчаточный бокс система магнетронного распыления

Перчаточный бокс из нержавеющей стали имеет размеры 1200 × 740 × 900 мм и оснащён откидной передней дверью. Автоматическая продувка удаляет воздух перед рециркуляционной очисткой, а функция автоматической регенерации встроена в панель управления. Две шлюзовые камеры предназначены для передачи крупных и малых образцов. Система очистки поддерживает содержание кислорода и паров воды ниже 1 части на миллион. Распылительный узел утоплен в нижней части бокса и соединён с герметичным фланцем. Магнетронные головки оснащены водоохлаждаемыми кожухами и шторками, рассчитаны на мишени диаметром 50,8 мм и толщиной 0,1–5 мм. Источник постоянного тока мощностью 500 Вт используется для металлических материалов, а радиочастотный источник мощностью 300 Вт при частоте 13,56 МГц — для непроводящих материалов. Вакуумная камера из нержавеющей стали имеет диаметр 300 мм и высоту 300 мм, а стеклянный смотровой порт — диаметр 100 мм. Держатель образца представляет собой вращаемую нагреваемую платформу с керамическим нагревателем и медной крышкой. Его диаметр составляет 140 мм, скорость вращения регулируется в диапазоне 1–20 об/мин, а температура достигает 500 °C с точностью ±1 °C. Для подачи двух типов газа предусмотрены два массовых расходомера.

Наименование производителя

VTC-600-2HD-GB-LD Dual-Head Magnetron Sputtering Coater Integrated in Glovebox for High Purity Thin Film Deposition, VTC-600-3HD-GB Professional 3-Head Magnetron Sputtering Coater in Glovebox with RF & DC Power for Thin Film Deposition