Плазменный источник питания для вакуумного магнетронного напыления

Плазменный источник питания имеет цифровую систему управления. Выходная мощность составляет 20 кВт; мощность однополярного импульсного смещения — 5 кВт. Выходной ток регулируется в диапазоне 0–26 А. Рабочее выходное напряжение составляет 200–800 В, напряжение холостого хода — 1000 В. Рабочая частота равна 40 кГц, форма сигнала — квазисинусоидальная. Доступны режимы постоянного тока и постоянной мощности; точность регулирования не превышает 1%, КПД составляет не менее 90%, коэффициент мощности — не менее 0,9. Входное переменное напряжение составляет 380 В при допуске ±10%. Интерфейс управления выполнен на штырьковом разъёме. Кнопки на панели и аналоговый сигнал обеспечивают запуск и остановку, настройку напряжения, тока и мощности, а также внешнюю защиту от обрыва цепи, включая контроль потока воды. Предусмотрен цифровой интерфейс связи. Жидкокристаллический дисплей и экранные подсказки поддерживают китайский и английский языки. Класс изоляции — B, степень защиты — IP20, время срабатывания защиты — 1 мкс. Сопротивление изоляции между выходом и корпусом: ≥20 МОм, <1 Ом. Электрическая прочность изоляции между входом и корпусом составляет 2000 В в течение 1 мин, между входом и выходом — 3500 В в течение 1 мин. Рабочая температура составляет 0–35 °C, относительная влажность — не более 85%. Охлаждение водяное. Габариты по ширине, высоте и глубине — 480 × 135 × 380 мм. Модульная схема упрощает отладку и техническое обслуживание. Источник питания поддерживает нанесение изолирующих плёнок, обладает стойкостью к дуговому разряду и работает с широким диапазоном нагрузок. Защита охватывает перенапряжение, пониженное напряжение, сверхток, потерю фазы, утечку, перегрев и нарушение заземления. Система выполняет цифровое обнаружение неисправностей более чем десяти типов, подаёт звуковой сигнал и обеспечивает вывод типа неисправности.

Наименование производителя

WZP20 20KW 40kHz Mid-Frequency Plasma Power Supply Vacuum Magnetron Sputtering Coating Power Source, 5KW Unipolar Pulse Bias Power Supply-WT10-MC for Vacuum Magnetron Sputtering Coating